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在半导体工程中，把FOUP，FOSB，Cassette，Egazine，Tray，Etc等物品自动运送到STOCKER或EQ的设备。
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设备参数
载具类型
FOUP，FOSB，Cassette，Megazine，Tray，Etc
Cell数量
2-4
机械臂负载
≤ 20kg
主行速度
≤ 48m/min
站点定位精度
± 5mm
Cleanliness
Class 100@0.1㎛
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